اندازه های اکسید آلومینیوم برای چسباندن ویفر سیلیکونی
انواع مختلفی از اکسید آلومینیوم در بازار وجود دارد.
با توجه به تکنیک ساخت، اکسید آلومینیوم کلسینه شده و اکسید آلومینیوم ذوب شده وجود دارد.
با توجه به فاز کریستالی، اکسید آلومینیوم α و اکسید β-آلومینیوم وجود دارد.
سپس از چه نوع اکسید آلومینیومی برای لایه برداری ویفر سیلیکونی استفاده می شود؟
این یک نوع اکسید آلومینیوم کلسینه شده با پلاکت سفید است، شرکت ساینده ژنگ ژو هایکسو، با مسئولیت محدود، سال ها آن را تولید می کند، که کیفیت آن شبیه به JAPAN FUJIMI و USA Microgrit WCA است.
اندازه های تولید ساینده هایکسو به شرح زیر است؟
| اندازه | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77.6 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64.2 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50.4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40.1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32.0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12.5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
در آنجا از HX-PWA/WCA09، HX-PWA/WCA12 و HX-PWA/WCA15 برای چسباندن ویفر سیلیکونی به طور گسترده استفاده می شود.
