انواع مختلفی از اکسید آلومینیوم در بازار وجود دارد که در زمینه های مختلف استفاده می شود.
برای پوشش ویفر سیلیکونی، معمولاً از اکسید آلومینیوم کلسینه شده سفید پلاکتی استفاده کنید که به شکل صفحه است و مشخصات آن به شرح زیر است:
ترکیب شیمیایی متوسط (معمولی)
Al 2 O 3 >99.0٪
SiO2 < 0.2٪
Fe2O3 <0.1٪
Na2O < 1٪
خصوصیات فیزیکی ( نوع A L)
سختی Mohs 9.0
وزن مخصوص >3.9g/cm 3
شکل بشقاب شکل
توزیع اندازه ذرات
اندازه | D0 | D3 | D50 | D94 |
وزن/WCA40 | <77.6 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
PWA/WCA35 | <64.2 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
وزن / WCA30 | <50.4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
PWA/WCA25 | <40.1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
وزن / WCA20 | <32.0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
وزن / WCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
وزن / WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
PWA/WCA05 | <12.5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |