چرا می‌توان از آلومینای ذوب‌شده سفید برای سنگ‌زنی و صیقل‌دهی تراشه‌ها استفاده کرد؟
آلومینای ذوب‌شده سفید ، کوراندوم سفید، اکسید آلومینیوم سفید نیز نامیده می‌شود که دارای ویژگی‌های سختی بالا، خود تیزشوندگی خوب، مقاومت در برابر خوردگی اسیدی و قلیایی، مقاومت در برابر دمای بالا و عملکرد حرارتی پایدار است.
به عنوان ماده اصلی برای سنگ‌زنی و صیقل‌دهی تراشه‌ها، آلومینای ذوب‌شده سفید عمدتاً بر اساس خواص فیزیکی و شیمیایی منحصر به فرد خود است که کاملاً الزامات سختگیرانه تولید تراشه برای دقت بالا و آلودگی کم را برآورده می‌کند:
۱. مزایای عملکرد فیزیکی
۱. سختی فوق‌العاده بالا و برش دقیق ۲.
سختی موهس آلومینای ذوب‌شده سفید بالای ۹.۰ است (فقط پایین‌تر از الماس و کاربید سیلیکون )، ذرات تیز و خود تیزشونده هستند (برش خودکار در حین سنگ‌زنی، لبه را تیز نگه می‌دارد)، که می‌تواند به طور موثر ناهمواری‌های سطح میکرونی را روی سطح ویفرهای سیلیکونی از بین ببرد و به صافی سطح در سطح اتمی دست یابد.
یکنواختی و پایداری اندازه ذرات
اندازه ذرات پودر میکرو توسط فرآیند طبقه‌بندی سرریز سنتی کنترل می‌شود و توزیع آن یکنواخت و متمرکز است و تضمین می‌کند که فشار سنگ‌زنی به طور یکنواخت توزیع شده، از ایجاد خراش یا حفره جلوگیری می‌کند و سطح نهایی و دقت ابعادی تراشه را تضمین می‌کند. پایداری
حرارتی عالی
خواص فیزیکی پایدار را در محیط با دمای بالا حفظ می‌کند، خطر انبساط حرارتی را در طول فرآیند سنگ‌زنی به طور قابل توجهی کاهش می‌دهد و ساختار تراشه را از آسیب حرارتی محافظت می‌کند. خلوص بالا و بی‌اثری شیمیایی جزء اصلی آلومینای ذوب‌شده سفید، α-آلومینا (خلوص>99%) است که تقریباً هیچ ناخالصی فلزی مانند آهن (مقدار آهن بسیار کم) ندارد و در طول سنگ‌زنی با ویفرهای سیلیکونی واکنش شیمیایی نمی‌دهد و به طور کامل از آلودگی یا اکسیداسیون سطح تراشه جلوگیری می‌کند. ایمنی محیطی بدون آلودگی رادیواکتیو، مطابق با استانداردهای سختگیرانه تولید نیمه‌هادی برای ایمنی مواد. ۳. سازگاری با فرآیند تولید تراشه اجزای اصلی مایع پولیش میکروپودر آلومینای ذوب‌شده سفید به عنوان ساینده اصلی در مایع پولیش استفاده می‌شود. این ماده از طریق پولیش مرطوب، ویفرهای سیلیکونی را در سطح نانو صاف می‌کند و نیازهای شدید چیدمان مدار تراشه برای صافی سطح را برآورده می‌کند. کاربرد چند سازگار با فرآیندهای متعدد مانند آسیاب خشک، آسیاب مرطوب، پولیش شیمیایی مکانیکی (CMP) و سازگاری انعطاف‌پذیر با نیازهای آسیاب مراحل مختلف تولید تراشه. ۴. مزایا نسبت به سایر مواد
در مقایسه با کاربید سیلیکون (پایداری شیمیایی کمی ضعیف) یا آلومینای معمولی (خلوص کمی پایین‌تر)، آلومینای ذوب‌شده سفید از نظر خلوص، یکنواختی سختی و بی‌اثری شیمیایی غیرقابل جایگزینی است و به ویژه برای تولید نیمه‌هادی‌ها با تحمل بسیار کم ناخالصی‌ها مناسب است.
خلاصه
آلومینای ذوب‌شده سفید به سختی فوق‌العاده بالا + خود تیزشوندگی برای اطمینان از راندمان سنگ‌زنی، کنترل اندازه ذرات در سطح نانو + پایداری حرارتی برای دستیابی به ماشینکاری دقیق و خلوص 99٪ + بی‌اثری شیمیایی برای از بین بردن آلودگی متکی است و آن را به ماده‌ای غیرقابل جایگزینی برای سنگ‌زنی و صیقل‌کاری تراشه تبدیل می‌کند. کاربرد آن در مایع صیقل‌کاری نیمه‌هادی مستقیماً از کوچک‌سازی و توسعه عملکرد بالای تراشه‌های مدرن پشتیبانی می‌کند.
